壓電陶瓷片微位移的發(fā)展自動(dòng)測(cè)量設(shè)備_電子/電路_工程技術(shù)_專業(yè)信息
陶瓷芯片微位移的開發(fā)自動(dòng)測(cè)量設(shè)備自動(dòng)測(cè)量設(shè)備目錄摘錄至……………………………………………………………………………………。我Abstrac。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 II 1引言1.1主題研究背景和意義…………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………2 1.3微位移測(cè)量技術(shù)的發(fā)展概況………………………………………………3 1.3.1電氣測(cè)量技術(shù)…………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………的方式的方法... 7 1.3.3 1.4顯微測(cè)量技術(shù)……………………………………………………………………………………………………………………………………………… …………。 。 10.自動(dòng)操作設(shè)備………………………………………………………………。 11 1.5論文的研究目的和主要研究內(nèi)容………………………………………………。 15. 2微型排量自動(dòng)測(cè)量設(shè)備總體方案設(shè)計(jì)……………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………… …………。 17 2.2微位移測(cè)量模塊的設(shè)計(jì)…………………………………………………………。 18 2.3裝卸模塊的設(shè)計(jì)…………………………………………………………。 19 2.4零件處理模塊的設(shè)計(jì)…………………………………………………………。 20 2.5本章摘要………………………………………………………………。 。 20 3產(chǎn)生了微小位移自動(dòng)測(cè)量設(shè)備…………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………… ……………………。 2l 3.1.1測(cè)量模塊的結(jié)構(gòu)………………………………………………………………………………一一2l 3.1.2裝載和卸載模塊的結(jié)構(gòu)………………………………………… ………………。 。 27 3.1.3處理模塊的結(jié)構(gòu)…………………………………………………………。 。 28 3.2電氣系統(tǒng)…………………………………………………………。 34 3.2.1運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)…………………………………………………………。 。 34 3.2.2電壓控制系統(tǒng)…………………………………………………………。 。 35 3.2.3氣動(dòng)控制系統(tǒng)…………………………………………………………。 。 36 3.3軟件控制………………………………………………………………。 39 3.3.1微位移自動(dòng)測(cè)量設(shè)備控制軟件設(shè)計(jì)………………………………。 。 39 3.3.2人機(jī)交互界面設(shè)計(jì)……………………………………………………。 。 44 3.4本章摘要………………………………………………………………。 45大連工業(yè)大學(xué)萬方數(shù)據(jù)專業(yè)碩士學(xué)位論文4誤差分析與精密度測(cè)試………………………………………………………………………………………………………………………………4.1 4.1測(cè)量誤差與影響分析的來源…… ………………………………………………。 46 4.2硬件精度檢測(cè)………………………………………………………………。 47 4.2.1 4.2.2導(dǎo)軌的重復(fù)精度……………………………………………………。 。 47電壓精度和穩(wěn)定性……………………………………………………。 。 49 4.3本章摘要………………………………………………………………。 50 5設(shè)備應(yīng)用實(shí)驗(yàn)…………………………………………………………51 5.1測(cè)量應(yīng)用實(shí)驗(yàn)與結(jié)果分析……………………………………………… …………。 51 5.2本章摘要………………………………………………………………。 。 54結(jié){正在閱讀……………………………………………………………………………………。 。 55參考文獻(xiàn)……………………………………………………………………。 56.碩士學(xué)位期間發(fā)表學(xué)術(shù)論文的情況……………………………………………………。 。 58致謝…………………………………………………………………………………………。 。 59大連理工大學(xué)學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書………………………………………………。 。 60萬立方米的數(shù)據(jù)。大連理工大學(xué)專業(yè)碩士學(xué)位論文1引言1.1學(xué)科研究背景和意義壓電陶瓷是一種具有壓電特性的特殊陶瓷材料，其壓電特性是指當(dāng)陶瓷的內(nèi)部晶體受到拉應(yīng)力時(shí)產(chǎn)生的應(yīng)力。壓縮應(yīng)力或剪切應(yīng)力，晶體將顯示極化或產(chǎn)生電場(chǎng)。
相反自動(dòng)測(cè)量設(shè)備，當(dāng)向晶體施加電場(chǎng)以引起極化時(shí)，晶體將產(chǎn)生應(yīng)變或應(yīng)力。目前自動(dòng)測(cè)量設(shè)備，壓電陶瓷在精密光學(xué)，微機(jī)械電子，納米技術(shù)[1-3]等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，并廣泛用于聲納檢測(cè)，醫(yī)學(xué)檢測(cè)，微驅(qū)動(dòng)裝置，導(dǎo)航儀等產(chǎn)品。壓電陶瓷壓電性能的研究不僅是高效壓電陶瓷應(yīng)用所必需的，而且對(duì)于探索材料的壓電機(jī)理，開發(fā)和改進(jìn)新材料也具有重要意義[4 |。本文測(cè)量的陶瓷盤用于激光陀螺儀的位移補(bǔ)償器中。如圖1.1所示，激光陀螺儀是一種光學(xué)慣性設(shè)備，用于測(cè)量物體的旋轉(zhuǎn)速度[5]。其原理是在封閉的圓形光路中從同一光源順時(shí)針和逆時(shí)針方向發(fā)射兩個(gè)激光。當(dāng)圓形光路不相對(duì)于慣性空間旋轉(zhuǎn)時(shí)，順時(shí)針和逆時(shí)針光路長度相同。當(dāng)激光陀螺儀沿著激光環(huán)路平面的軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，這兩個(gè)激光將產(chǎn)生光程差[6]。此時(shí)，通過測(cè)量兩個(gè)激光束的相位差或干涉條紋的變化，可以計(jì)算出閉合光路的旋轉(zhuǎn)角速度。圖1.1激光陀螺儀圖1.1激光陀螺儀在實(shí)際應(yīng)用中，通常要求激光陀螺儀以穩(wěn)定的頻率工作。因此，閉環(huán)光路的腔長變化必須很大小于激光波長9.當(dāng)前的激光陀螺儀腔體大多使用玻璃陶瓷材料，其擴(kuò)展為萬方數(shù)據(jù)
